ANALISIS SIFAT MEKANIK DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TiN HASIL DC SPUTTERING PADA SUBSTRAT ALUMINIUM DENGAN VARIASI PERBANDINGAN GAS ARGON DAN NITROGEN

ANALISIS SIFAT MEKANIK DAN STRUKTUR MIKRO LAPISAN TiN HASIL DC 

SPUTTERING PADA SUBSTRAT ALUMINIUM  DENGAN VARIASI 

PERBANDINGAN GAS ARGON DAN NITROGEN

Abstrak

Proses  sputtering  dilakukan  pada substrat aluminium  menggunakan lapisan tipis TiN,  kemudian diadakan pengujian  kekerasan dengan metode pengujian  Vikers dan pengamatan pada  struktur mikronya. Tujuan dari penelitian ini adalah untuk mengetahui sifat kekerasan  aluminium  dengan proses  sputtering  untuk mencapai tingkat kekerasan yang optimum. Sampel berupa  aluminium  dipotong menjadi 4  sampel uji, kemudian dilakukan pemolesan dengan Autosol menggunakan amplas dengan ukuran 120, 600, 1000, 2000 dan 5000 mesh. Kemudian sampel yang sudah dipoles dilakukan proses sputtering dengan variasi perbandingan gas Ar dan N  (60  : 40;  70 :  30 ; 90 :  10%)  pada  waktu yang tetap  60 menit. Dari hasil pengujian kekerasan diperoleh nilai kekerasan yang terbesar atau optimum diperoleh pada perbandingan gas Ar : N  yaitu 70: 30 % dalam waktu 60 menit dengan nilai kekerasan 88.2 HV,  dimana nilai kekerasan substrat sebelum proses sputering adalah 37.5 HV. Sedangkan karakterisasi struktur mikro hasil lapisan TiN pada substrat Al menunjukan permukaan yang tidak rata. Hasil komposisi unsur pada permukaan dengan pengujian EDS pada kondisi kekerasan optimum diperoleh hasil Ti:0.26%; N:0.96%; O: 4.22%.

Kata Kunci : Aluminium, DC Sputtering, Titanium Nitrida